Penggerak servo/spindel dengan yang gain tinggi, mampu sepenuhnya meningkatkan kinerja sistem penggerak.
Penggerak Servo/Spindel berkinerja tinggi : MDS Seri D2/DH2
Penggerak Servo/Spindel : MDS Seri DJ.
Penggerak Multi-hibrida : MDS Seri DM2.
MDS-DM2-SPHV3
Dengan siklus pengendalian tercepat saat ini, kinerja dasar secara drastis ditingkatkan (pengendalian gain yang tinggi). Kombinasi motor servo berkecepatan tinggi dan detektor dengan tingkat akurasi tinggi membantu meningkatkan kinerja penggerak secara keseluruhan.
Unit penggerak ultra-ringkas dengan suplai daya terpasang memberi kontribusi untuk mengurangi ukuran panel pengendalian. Tipe 2-sumbu ditambahkan untuk perampingan lebih lanjut.
Unit penggerak multi-hibrida menggerakkan maksimal tiga sumbu servo dan satu spindel